Bronkhorst
Note d'application

Régulation rapide et stable du débit de gaz pour le dépôt sous vide

Les régulateurs de débit massique sont utilisés dans les équipements de dépôt sous vide pour l’apport du gaz dans le procédé. Ils permettent d’assurer un apport de gaz contrôlé et précis. Idéalement, les instruments peuvent réagir rapidement (temps de réponse rapide) et atteindre un point de consigne en quelques millisecondes. Pour de tels procédés, les utilisateurs peuvent bénéficier du FLEXI-FLOW Compact

La pulvérisation réactive en pratique
Le dépôt physique en phase vapeur (PVD) par pulvérisation ou la pulvérisation réactive est une technique de dépôt de couche où les particules pulvérisées réagissent avec un gaz introduit dans la chambre de pulvérisation. De l’argon de haute énergie est appliqué sur du métal tel que l’aluminium, libérant un nuage de particules métalliques pulvérisées. Celles-ci réagissent avec les gaz réactifs, ce qui permet de déposer de très fines couches de céramique sur du verre, disque de silicium, métal ou polymère. La pulvérisation réactive est utilisée pour appliquer des revêtements anti-reflet, durcissant, anti-usure, de protection électromagnétique, etc. 

Consulter la solution Bronkhorst
Dépôt sous vide par pulvérisation réactive pour le revêtement du verre
Dépôt sous vide par pulvérisation réactive pour le revêtement du verre

Exigences de la pulvérisation réactive

La rapidité de la régulation du débit est essentielle dans les techniques de dépôt sous vide. Chaque seconde permet de gagner du temps et de l’énergie, ce qui améliore l’efficacité des équipements de dépôt. Les gaz doivent être fournis sur une large plage de débit dynamique, de façon reproductible et stable sur le long terme. Ainsi la qualité est assurée.

Caractéristiques importantes

  • Régulation de débit à réponse rapide
  • Fonction d’arrêt
  • Large plage dynamique
  • Interfaces de communication


Solution adoptée

Le régulateur de débit massique FLEXI-FLOW Compact a un temps de réaction de 150 ms sans dépassement (overflow). Nous pouvons ainsi répondre aux demandes des utilisateurs pour des revêtements déposés sous vide nécessitant de la régulation de débit rapide et stable, associée à une vanne d’arrêt et en configuration monovoies ou multivoies.

Régulation de débit à réponse rapide

Les utilisateurs finaux d’équipements de dépôt sous vide ont besoin d’un système d’alimentation en gaz qui réponde très rapidement. Ils optimisent ainsi les conditions du procédé telles que la pression et le débit de gaz, et surveillent le résultat en mesurant l’épaisseur du revêtement durant son application. Au cours du processus, le débit de gaz doit être stable et contrôlé afin de garantir la justesse de l’épaisseur et de la composition du revêtement.

Régulation de débit rapide avec le FLEXI-FLOW

Lorsque le système de pulvérisation observe que l’épaisseur ou la transparence s’éloigne des paramètres souhaités, il corrige le procédé de dépôt en ajustant les débits de gaz. Une régulation de débit très rapide est par conséquent souhaité avec un temps de réponse proche des 150 millisecondes.

Le régulateur de débit pour gaz FLEXI-FLOW offre cette rapidité. En cas de variations de la pression d’entrée, le régulateur de débit de gaz maintient le débit au point de réglage de façon aussi réactive que possible. En cas de changements dans la chambre du réacteur, le régulateur de débit définit un nouveau point de réglage. De cette façon, l’adaptation rapide du débit réduit le gaspillage et les quantités de produits rejetés.

Fonction d’arrêt

Une vanne d’arrêt peut être intégrée afin de minimiser les fuites dans la chambre à vide pendant la phase de mise sous vide (ce qui est très utile dans les réacteurs avec des vides poussés).

Large plage dynamique

La large plage de débit dynamique et la rangeabilité de 1 :1000 réduit le nombre d’instruments et limite les références de pièces de rechange améliorant ainsi la flexibilité de l’équipement de dépôt sous vide.
 

Interfaces de communication

Des solutions multivoies compactes équipé de passerelle (Gateway) sont disponibles faisant appel à des protocoles industriels tels qu'Ethernet, EtherCAT et Profinet. Les données ainsi produites peuvent être utilisées à des fins de maintenance prédictive.

Demander des conseils
Schéma de chambre à vide.
Schéma de procédé avec 6 régulateurs de débit massique. Des vannes d'arrêt sont mises en place pour garantir un taux de fuite très faible vers la chambre à vide


Bronkhorst France S.a.s.

53 Rue Jacques Verniol
F-95370 Montigny-Les-Cormeilles (FR)
Tel. +33 1 34 50 87 00
[email protected]

         Responsabilite Sociale
Copyright © 2024 Bronkhorst. All rights reserved.     Sitemap     Disclaimer     Privacy note